渦輪分子泵是利用高速旋轉(zhuǎn)的動(dòng)葉輪將動(dòng)量傳給氣體分子，使氣體產(chǎn)生定向流動(dòng)而抽氣的真空泵。優(yōu)點(diǎn)是啟動(dòng)快，能抗各種射線的照射，耐大氣沖擊，無(wú)氣體存儲(chǔ)和解吸效應(yīng)，無(wú)油蒸氣污染或污染很少，能獲得清潔的超高真空。渦輪分子泵廣泛用于高能加速器、可控?zé)岷朔磻?yīng)裝置、重粒子加速器以及真空鍍膜等需要獲得高真空度制造工藝中。

　　是由動(dòng)葉輪與靜葉輪組合而成，比擴(kuò)散泵節(jié)能、無(wú)油蒸汽污染，同時(shí)具有分子流時(shí)抽速大、壓縮比高的特點(diǎn)，是目前國(guó)內(nèi)大抽速的分子泵，動(dòng)葉輪采用變截面加工，其強(qiáng)度增加重量減少，使分子泵性能更可靠、穩(wěn)定。

　　渦輪分子泵的工作原理：主要有立式和臥式兩種。

　　動(dòng)葉輪外緣的線速度高達(dá)氣體分子熱運(yùn)動(dòng)的速度（一般為150～400米/秒）。單個(gè)葉輪的壓縮比很小，渦輪分子泵要由十多個(gè)動(dòng)葉輪和靜葉輪組成。動(dòng)葉輪和靜葉輪交替排列。動(dòng)、靜葉輪幾何尺寸基本相同,但葉片傾斜角相反。右圖為20個(gè)動(dòng)葉輪組成的整體式轉(zhuǎn)子。每?jī)蓚€(gè)動(dòng)葉輪之間裝一個(gè)靜葉輪。靜葉輪外緣用環(huán)固定并使動(dòng)、靜葉輪間保持1毫米左右的間隙,動(dòng)葉輪可在靜葉輪間自由旋轉(zhuǎn)。

　　渦輪分子泵的特點(diǎn)：

　　1、抽速大、無(wú)油、啟動(dòng)快、無(wú)油污染、維護(hù)簡(jiǎn)單

　　2、工作范圍:清潔的低真空~中、高真空，大氣~超高真空

　　3、極限真空:10/10torr