復(fù)合式分子泵是一種高性能的真空泵，結(jié)合了多種技術(shù)的優(yōu)點(diǎn)，具有大抽速、高壓縮比和高可靠性等特點(diǎn)，被廣泛應(yīng)用于高真空、超高真空領(lǐng)域。其結(jié)構(gòu)形式多種多樣，其中主要包括渦輪葉片不盤式牽引泵的串聯(lián)組合和渦輪葉片不筒式牽引泵的串聯(lián)組合。渦輪級主要用于提高泵的抽速，而牽引級則主要用于增加泵的壓縮比，提高泵的出口壓力。

　　復(fù)合式分子泵的保養(yǎng)是確保其長期穩(wěn)定運(yùn)行和延長使用壽命的關(guān)鍵。

　　1、避免頻繁啟停：分子泵在勻速工作時(shí)，轉(zhuǎn)子葉片僅受到離心力的作用，而在加速和減速時(shí)，葉片還會(huì)受到轉(zhuǎn)動(dòng)切線方向的力，這對葉片的疲勞壽命貢獻(xiàn)更大。頻繁啟停還會(huì)導(dǎo)致內(nèi)部發(fā)熱嚴(yán)重，加劇軸承磨損。

　　2、選擇合適的冷卻方式：根據(jù)分子泵的規(guī)格和工作環(huán)境，選擇適當(dāng)?shù)睦鋮s方式，如自然冷卻、強(qiáng)制風(fēng)冷或水冷，并保持環(huán)境溫度在5~35攝氏度之間。

　　3、避免空擋滑行：長時(shí)間在共振頻率運(yùn)轉(zhuǎn)會(huì)增加軸承負(fù)荷，進(jìn)而增加故障風(fēng)險(xiǎn)。建議停機(jī)時(shí)手動(dòng)充氣或使用專用充氣閥快速停機(jī)。

　　4、監(jiān)測前級真空：分子泵必須配合合適的前級泵工作，監(jiān)測排氣口壓力，避免因前級泵性能下降而使分子泵排氣壓力過高。

　　5、定期更換潤滑油：分子泵油量應(yīng)處于油標(biāo)上下限之間，不得低于油標(biāo)下限。正常工作后每工作4000小時(shí)或一年至少更換一次潤滑油。

　　6、注意沖擊防護(hù)：分子泵是高旋轉(zhuǎn)機(jī)械，動(dòng)靜片間間隙很小，不能抗過大的沖擊。

　　7、檢查和維護(hù)：經(jīng)常保持分子泵外殼的清潔，正常生產(chǎn)過程中須經(jīng)常檢查分子泵溫度，聽是否有異常震動(dòng)和聲音。

　　8、處理故障：當(dāng)分子泵出現(xiàn)故障時(shí)，應(yīng)根據(jù)故障提示進(jìn)行相應(yīng)處理。例如，軸承燒毀可能是由于缺乏定期維護(hù)、冷卻不良、未及時(shí)換油或抽除的氣體中含有大量粉塵等原因。