復(fù)合式分子泵是一種高性能的真空泵，結(jié)合了多種技術(shù)的優(yōu)點，具有大抽速、高壓縮比和高可靠性等特點，被廣泛應(yīng)用于高真空、超高真空領(lǐng)域。其結(jié)構(gòu)形式多種多樣，其中主要包括渦輪葉片不盤式牽引泵的串聯(lián)組合和渦輪葉片不筒式牽引泵的串聯(lián)組合。渦輪級主要用于提高泵的抽速，而牽引級則主要用于增加泵的壓縮比，提高泵的出口壓力。

　　復(fù)合式分子泵其應(yīng)用范圍包括以下幾個方面：

　　1、半導(dǎo)體制造：在半導(dǎo)體工業(yè)中，分子泵廣泛應(yīng)用于真空蒸發(fā)鍍膜、離子注入、等離子體刻蝕等工藝中，確保工藝室內(nèi)的高真空環(huán)境。

　　2、光學(xué)薄膜涂層：在光學(xué)薄膜涂層領(lǐng)域，分子泵用于提供高真空環(huán)境，確保薄膜沉積的質(zhì)量和均勻性。

　　3、航天航空：在航天航空領(lǐng)域，分子泵用于模擬太空環(huán)境、真空試驗和航天器組件的制造。

　　4、材料科學(xué)：在材料科學(xué)研究中，分子泵常用于真空熱處理、薄膜沉積、材料表征等實驗室應(yīng)用。

　　5、醫(yī)療器械：在醫(yī)療器械制造中，分子泵可用于真空包裝、真空干燥等工藝，確保產(chǎn)品的質(zhì)量和安全。

　　6、實驗室科研：在各類實驗室中，分子泵常用于提供高真空環(huán)境，支持各種物理、化學(xué)、生物實驗的進(jìn)行。

　　總的來說，復(fù)合式分子泵的應(yīng)用范圍涵蓋了許多領(lǐng)域，特別是需要高真空環(huán)境的工藝和實驗，以確保設(shè)備正常運行和實驗的準(zhǔn)確性。